第一、使用前各項附件、開關以及儀器的檢查
在真空退火爐工藝生產的過程中避免不了高溫條件，所以對于安全以及儀器自身的檢查是操作之前的重要部分。在開始儀器操作之前一定要檢查各項附件是否工作正常、各個開關是否處于閉合狀態、儀器各表是否存在較大誤差以及損壞和各電路線頭是否有松脫老化現象。
第二、開爐和停爐過程中的正確操作以及關于安全的注意事項
若確認所有步驟均處于正常狀態下，就可以打開相應開關以及放入物料并且開啟各個組成部分的開關。當機器開始運行的時候可以將部分儀器打開自動擋，將操作模式轉換為手動以后依次打開儀表進行測量。
第三、生產過程中數據的記錄以及整理
在測量的過程當中要及時讀數，并且把數據記錄到提前準備好的表格當中，然后實時觀察爐腔內的溫度以及壓強，如果存在超出常理的讀數以后一定要及時停止并且檢查儀器。
第四、生產結束以后儀器的整理
如果操作過程中沒有意外情況出現，則根據工藝要求在儀器表盤上提前設置好所有的參數，然后進行操作過程結束的收尾工作，把所有的儀表盤在冷卻之后進行整理并且斷開開關，則整個生產過程結束。
